恒温恒湿净化车间温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。
具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜**过25度。
湿度过高产生的问题更多。相对湿度**过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产佳温度范围为35—45%。
经业内人士介绍,ISO 9001是由**个质量管理体系标准 BS 5750(BSI撰写)转化而来的,ISO 9001是迄今为止世界上成熟的质量框架,**有161个国家和地区**过75万家组织正在使用这一框架。ISO 9001不仅为质量管理体系,也为总体管理体系设立了标准。它帮助各类组织通过客户满意度的改进、员工积极性的提升以及持续改进来获得成功。
大家对品质的要求逐渐增加,恒温恒湿净化车间的应用在很多行业也变动日趋丰富。而恒温恒湿净化车间环境的直接能影响到产品生产。青岛洁净净化技术有限公司从事无尘车间设计安装的人士总结了以下三个方面:影响一:产品生产 影响二:生产效率 影响三:产品质量
针对恒温恒湿车间的安装适用范围比较广
该系列产品有恒湿、冷暖、热泵等品种,恒温恒湿型机组能满足温湿度要求高的场所,冷暖型机组能满足舒适性场所,热泵型机组可一机两用,节省制热运行费用。制冷量大可达360KW,能容易满足大空间空调的场所。
节省投资
机组置于屋顶或户外空地,*机房,节省有效空间。机组*水泵、冷却塔、风机盘管等配套设备,节省初投资。
安装方便
机组*现场配制冷媒管、冷却水管,配上风管,接好电源,即可使用,节省了现场施工时间和费用。
节能
机组稳定用高性能涡旋或螺杆压缩机,容积效率和能效比高,螺杆压缩机可方便的实现或无级能调,部分负荷效率高;膨胀阀、过滤器、电磁阀等制冷配件均选项用美国、意大等进口;机组亦不需二次冷媒,系统效率高。
运行宁静
机组采用高性能涡旋或螺杆压缩机,运行平稳。机组置于室外,室内只需配风管,室内噪音小。
结构特
机组**板采用的结构,确保机组不进水,门板采用聚氨酯发泡,确保隔热保温性能,电器箱采用密封结构,确保电器安全,电源接线置于电器箱内,无屋顶漏水之虞。
运行安全
机组设有高压、低压、过载、短路、断相、过热、欠风压等保护,以及防火阀连锁保护。
智能控制
机组采用控制仪表,仪表可配双手操器,分置于室外机组和室内控制室,使用操作十分方便。仪表配有RS485接口,可实现远程控制。
功能扩展方便
机组配备多种功能段,可方便实现空气降温、除湿、供暖、加湿、过滤,以及新风换气等功能。
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